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科學家“彈出式”制備微納米半導體器件

科學家“彈出式”制備微納米半導體器件

2015-01-12 15:53:42

       新華社華盛頓1月11日電(記者林小春)見過一打開便有小房子或城堡立起來的那種立體書吧。受這種兒童玩具書的啟發,中國、美國、韓國研究人員開發出一種特別簡單的“彈出式”三維成型技術,可制備現有3D打印技術無法實現的微納米半導體器件。
        這項成果發表在新一期美國《科學》雜志上。研究負責人之一、美國西北大學研究助理教授張一慧對新華社記者說,這種技術被稱為“屈曲引導的三維成型技術”,相比現有3D打印技術有多種優勢,“它不能完全取代現有3D打印技術,但可作為一個非常重要的補充”。
        這種技術的基本步驟是:先形成具有一定構型的平面結構,將其轉移至一張已經拉伸的彈性基底上,通過表面化學處理把平面結構選擇性地粘接于彈性基底,之后釋放彈性基底的預拉伸,即可將未粘接于基底的平面結構彈出,形成三維結構。
        張一慧說,這種技術的優勢一是快速成型;二是適用于各種類型的材料,包括半導體、金屬、聚合物等;三是與現代化半導體產業的二維制備技術兼容,可成型非常復雜的三維結構,他們已實現40多種三維結構,包括孔雀、花朵、桌子、籃子、帳篷和海星等;四是尺寸上沒有明顯的限制,目前已實現的最小厚度約為100納米,最大厚度約1毫米。這種技術的主要不足在于所能成型的三維結構仍具有一定的局限性,并不能形成所有給定的三維結構。
        相比之下,傳統3D打印技術一層層疊加打印,不僅速度慢,適用的材料類型有限,如無法適用于高性能半導體結構,適用的三維結構也有限。
        他說,目前利用該技術成功制造的器件包括環形螺線管、雙層三維線圈,將來會進一步用該方法成型其他半導體和金屬等材質的高性能器件,用于生物醫學、微機電系統、光子聲子晶體、超材料、電子電路等領域。
        中國浙江大學、清華大學、華東理工大學、韓國漢陽大學及美國伊利諾伊大學的研究人員也參與了這項研究。(完)

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