記者丨何己派 鄢子為 編輯丨鄢子為
中國(guó)刻蝕機(jī)之父，籌劃一樁交易。
12月19日，尹志堯掌舵的中微公司稱，擬發(fā)行股份，購(gòu)買“杭州眾硅”控股權(quán)。
其行動(dòng)迅速，已與標(biāo)的股東杭州眾芯硅工貿(mào)、上海寧容海川等簽署《購(gòu)買資產(chǎn)意向協(xié)議》。
作為買方，中微頭頂技術(shù)光環(huán)，產(chǎn)業(yè)資源豐富。其董事長(zhǎng)尹志堯，為頂尖半導(dǎo)體專家，60歲時(shí)創(chuàng)辦中微，專注研發(fā)刻蝕設(shè)備。
經(jīng)過(guò)21年的攻堅(jiān)，他帶出一家市值超1700億元的芯片設(shè)備龍頭，且6年來(lái)已投資30多家產(chǎn)業(yè)鏈標(biāo)的。此次，尹志堯即將再下一城，沿著“平臺(tái)化”路徑狂奔。
“此次籌劃收購(gòu)，絕非簡(jiǎn)單的規(guī)模擴(kuò)張，而是中微基于行業(yè)發(fā)展規(guī)律和自身階段作出的審慎決策。”芯謀研究首席分析師顧文軍向《21CBR》記者解釋。
1
老驥伏櫪
現(xiàn)年81歲的尹志堯，長(zhǎng)期奔波在一線，干勁十足。
4月，他撰寫(xiě)《董事長(zhǎng)致辭》，強(qiáng)調(diào)中微的目標(biāo)，是成為“國(guó)際一流半導(dǎo)體設(shè)備公司”，并給團(tuán)隊(duì)打氣，稱“目標(biāo)一定能實(shí)現(xiàn)”。
其精神矍鑠，今年以來(lái)，多次帶著管理層，接待投資機(jī)構(gòu)，規(guī)劃未來(lái)。
中微董事長(zhǎng)尹志堯
“我們計(jì)劃，通過(guò)外延收購(gòu)和內(nèi)生研發(fā)的方式，覆蓋超六成的半導(dǎo)體前道設(shè)備品類。”管理層5月指出，對(duì)收購(gòu)機(jī)會(huì)，中微保持積極且開(kāi)放的態(tài)度。
中微并購(gòu)經(jīng)驗(yàn)豐富。
尹志堯曾列出一組數(shù)據(jù)，上市以來(lái)，公司投資了30多家產(chǎn)業(yè)鏈上下游企業(yè)，斥資20多億，浮盈50多億，實(shí)現(xiàn)良好的經(jīng)濟(jì)效益和戰(zhàn)略協(xié)同效果；參股的8家企業(yè)，已在A股上市。
臨近年底，中微再度出手。
其看中的杭州眾硅，成立于2018年，早就躋身“獨(dú)角獸”之列，擅長(zhǎng)制造高端CMP（化學(xué)機(jī)械平坦化拋光）設(shè)備。
CMP屬于芯片制造的前道工序，可以理解為“拋光打磨”技術(shù)，即把芯片壓在旋轉(zhuǎn)的拋光墊上，一邊靠細(xì)小磨料做物理研磨，一邊靠化學(xué)試劑腐蝕芯片表面，共同將表面磨平整。
杭州眾硅的設(shè)備，已獲客戶認(rèn)可，陸續(xù)中標(biāo)上海新微、云南創(chuàng)視界光電科技的訂單，還被評(píng)為杭州士蘭集昕的優(yōu)秀供應(yīng)商。
值得注意的是，中微本就是其第二大股東，持股12%；尹志堯本人還于9月，進(jìn)入杭州眾硅管理層，擔(dān)任董事。
當(dāng)前，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)整合更注重戰(zhàn)略協(xié)同與技術(shù)補(bǔ)強(qiáng)，而非單純的資本擴(kuò)張。
“中微此次籌劃收購(gòu)，是經(jīng)過(guò)長(zhǎng)期觀察、先期戰(zhàn)略投資后的穩(wěn)步推進(jìn)，核心目的在于‘補(bǔ)全’與‘強(qiáng)化’。”
顧文軍告訴記者，杭州眾硅主攻濕法工藝，在技術(shù)上具有稀缺性和互補(bǔ)性。
“交易價(jià)格將以資產(chǎn)評(píng)估報(bào)告為基礎(chǔ)，經(jīng)各方協(xié)商確定。”公告補(bǔ)充，僅達(dá)成初步意向。尹志堯團(tuán)隊(duì)將在簽署正式協(xié)議后，發(fā)布詳細(xì)方案。
2
劍指平臺(tái)
尹志堯是中微的靈魂人物，履歷豐富。
他是北京人，本科畢業(yè)于中科大，后拿到加州洛杉磯分校博士學(xué)位。
40歲那年，他作為第一個(gè)中國(guó)留學(xué)生加入英特爾，二十年后，毅然放棄百萬(wàn)年薪，帶領(lǐng)十五位同仁飛抵上海浦東，開(kāi)啟創(chuàng)業(yè)。
《21CBR》記者注意到，2024年財(cái)報(bào)顯示，尹志堯已放棄美國(guó)國(guó)籍，恢復(fù)中國(guó)籍。
這位“發(fā)明家創(chuàng)始人”，正帶領(lǐng)中微沖刺新目標(biāo)。
他計(jì)劃用五至十年，逐步覆蓋半導(dǎo)體高端設(shè)備的50%-60%，推動(dòng)中微盡早轉(zhuǎn)型高端設(shè)備平臺(tái)化公司。
到2035年，中微要進(jìn)入全球半導(dǎo)體設(shè)備第一梯隊(duì)。
10月底，尹志堯提到，中微擁有三十多種設(shè)備，覆蓋半導(dǎo)體高端設(shè)備的25%-30%。結(jié)合進(jìn)程來(lái)看，若達(dá)成目標(biāo)，他將實(shí)現(xiàn)“再造一個(gè)中微”。
加緊趕路，尹一手抓并購(gòu)，一手抓研發(fā)。
目前，中微的在研項(xiàng)目涵蓋六類設(shè)備，同時(shí)開(kāi)發(fā)超二十款新設(shè)備，速度顯著加快。
過(guò)去，其通常需要3-5年開(kāi)發(fā)一款新設(shè)備，現(xiàn)只需兩年或更短時(shí)間完成新品開(kāi)發(fā)，并迅速量產(chǎn)。官方稱，未來(lái)數(shù)年，將加速、大規(guī)模推出多種新品。
走向平臺(tái)化，其重要的產(chǎn)品抓手，在于薄膜沉積設(shè)備。
2025年9月，尹志堯一口氣發(fā)布6款新品，其中有四款是薄膜沉積設(shè)備。
1-9月，其薄膜設(shè)備收入，體量已有4個(gè)多億，同比增速高達(dá)13倍。
這塊業(yè)務(wù)，于2010年開(kāi)始布局，近兩年開(kāi)發(fā)的新產(chǎn)品——LPCVD和ALD薄膜設(shè)備，已進(jìn)入市場(chǎng)，并獲得重復(fù)性訂單。
按計(jì)劃，中微未來(lái)要開(kāi)發(fā)約40種導(dǎo)體薄膜設(shè)備，覆蓋全部類別的先進(jìn)金屬應(yīng)用。
“我們很快將會(huì)把國(guó)際對(duì)國(guó)內(nèi)禁運(yùn)的20多種薄膜設(shè)備開(kāi)發(fā)完成，預(yù)計(jì)到2029年，完成所有開(kāi)發(fā)。”尹志堯5月表示。
3
提速擴(kuò)張
尹志堯圍繞平臺(tái)化的大干快上，在于設(shè)備生意迎來(lái)好周期。
芯片制造，離不開(kāi)“三劍客”，光刻機(jī)、刻蝕機(jī)、薄膜沉積設(shè)備。
打個(gè)比方，光刻機(jī)是打草稿的“畫(huà)筆”，刻蝕機(jī)是“雕刻刀”，薄膜沉積設(shè)備則是給晶圓貼材料的“油漆刷”。
微觀器件越做越小，結(jié)構(gòu)從2D轉(zhuǎn)到3D，帶來(lái)刻蝕跟薄膜的應(yīng)用總量跟步驟數(shù)，大幅增加。
市場(chǎng)對(duì)這兩類設(shè)備的需求量大增，這是中微業(yè)績(jī)強(qiáng)勁增長(zhǎng)的底層動(dòng)力。
從規(guī)模來(lái)看，刻蝕設(shè)備仍是主力，貢獻(xiàn)超75%收入。尹志堯主導(dǎo)下，中微已開(kāi)發(fā)3代、18款刻蝕機(jī)，持續(xù)鞏固基本盤。
其等離子體刻蝕已批量出貨給國(guó)內(nèi)存儲(chǔ)、邏輯等客戶產(chǎn)線，截至2025年上半年，CCP刻蝕設(shè)備累計(jì)裝機(jī)量超4500個(gè)反應(yīng)臺(tái)，ICP刻蝕設(shè)備累計(jì)裝機(jī)量超1200個(gè)反應(yīng)臺(tái)。
目前，業(yè)內(nèi)量產(chǎn)所用刻蝕機(jī)的深寬比在60：1，尹志堯團(tuán)隊(duì)正在突破90到100：1的深孔刻蝕。
擴(kuò)大產(chǎn)品覆蓋面的同時(shí)，尹志堯加緊提高產(chǎn)能。
南昌生產(chǎn)研發(fā)基地、上海臨港生產(chǎn)研發(fā)基地，均已投入使用，產(chǎn)能大幅提升；上海臨港滴水湖畔，占地約10萬(wàn)平方米的總部大樓暨研發(fā)中心，也在順利建設(shè)。
這三塊基地，合計(jì)新增總面積將達(dá)42萬(wàn)平方米，較2022年，新增15倍。
為確保今后十年有足夠的廠房，保障新品研發(fā)和產(chǎn)能高速增長(zhǎng)，中微規(guī)劃，在廣州增城區(qū)及成都高新區(qū)，落地新生產(chǎn)基地，且已開(kāi)工。
擴(kuò)地，也增員。
截至6月底，中微員工大幅增至2638人。管理層預(yù)計(jì)，2025年也將保持穩(wěn)定的人員增速。
投人投錢，外部并購(gòu)、自主研發(fā)雙線并行，這位半導(dǎo)體專家期待抓住機(jī)遇，再一次突圍。